导语:一个看起来只有指甲盖那么大芯片,里面却包含着几千万甚至几亿的晶体管,想想就觉得不可思议,而在工程上这又是如何实现的呢?
1947 年 12 月,美国贝尔实验室的肖克利、巴丁和布拉顿组成的研究小组,研制出世界上第一个晶体管。晶体管的问世,开启了20世纪微电子革命。晶体管的发明又为后来集成电路的诞生吹响了号角,开启了第三次科技革命。而第三次科技革命中,芯片技术可谓是最重要的技术之一。
晶体管便是芯片计算的基础,晶体管虽然只能表现出 1 和 0 两种状态,但是这简简单单的 1 和 0 中却可以衍生出世间万物。一个看起来只有指甲盖那么大芯片,里面包含着几千万甚至几亿的晶体管,想想就觉得不可思议,而这到底是怎么实现的呢?接下来我们以英特尔 CPU 为例,给小伙伴们讲一下~
硅(SiO2)一直被称为半导体制造产业的基础,就是因为它能够制成一个叫晶圆的物质,而首先我们需要把硅通过多步净化熔炼后变为硅锭(Ingot)。
然后再用金刚石锯对硅锭进行切割,才会成为一片片厚薄均匀的晶圆(1mm),有时候为了定出硅圆片的晶体学取向,并适应IC制作过程中的装卸需要,会在硅锭边缘切割出“取向平面”或“缺口”标记。切割出的晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕,表面甚至可以当镜子。
到了这一步,我们就需要一样叫光刻胶(Photo Resist)的物质去铺满它的表面了,为了使得光刻胶铺的非常薄、非常平,在浇光刻胶过程中晶圆匀速旋转,图中蓝色部分就是在晶圆旋转过程中浇上去的光刻胶液体,类似制作传统胶片的那种。光刻胶层随后透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下,变得可溶,期间发生的化学反应类似按下机械相机快门那一刻胶片的变化。掩模上印着预先设计好的电路图案,紫外线透过它照在光刻胶层上,就会形成微处理器的每一层电路图案。一般来说,在晶圆上得到的电路图案是掩模上图案的四分之一。
溶解光刻胶解析:光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,而剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。
蚀刻完成后,光刻胶的使命宣告完成,把光刻胶全部清除后就可以看到设计好的电路图案啦。
继续往下走,我们还需要继续浇上光刻胶(蓝色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻胶还是用来保护不会离子注入的那部分材料。然后就是重要的离子注入(Ion Implantation)过程,在真空系统中,用经过加速的、要掺杂的原子的离子照射(注入)固体材料,从而在被注入的区域形成特殊的注入层,并改变这些区域的硅的导电性。经过电场加速后,注入的离子流的速度可以超过 30 万千米每小时。离子注入完成后,光刻胶也被清除,而注入区域(绿色部分)也已掺杂,注入了不同的原子。注意这时候的绿色和之前已经有所不同。至此,晶体管已经基本完成。
接下来的步骤是,在绝缘材(品红色)上蚀刻出三个孔洞,并填充铜,以便和其它晶体管互连。然后我们就可以开始对它进行电镀了,操作方法是在晶圆上电镀一层硫酸铜,将铜离子沉淀到晶体管上。铜离子会从正极(阳极)走向负极(阴极)。电镀完成后,铜离子沉积在晶圆表面,形成一个薄薄的铜层。
当然上面多余的铜也需要先抛光掉,也就是磨光晶圆表面。然后就可以开始搭建金属层了。晶体管级别,六个晶体管的组合,大约 500 纳米。在不同晶体管之间形成复合互连金属层,(因为是三维结构, 所有连线要在上部连出),具体布局取决于相应处理器所需要的不同功能性。芯片表面看起来异常平滑,但事实上可能包含 20 多层复杂的电路,放大之后可以看到极其复杂的电路网络,形如未来派的多层高速公路系统。
接下来就是大约 10 毫米/0.5 英寸内核级别的晶圆测试,图中是晶圆的局部,正在接受第一次功能性测试,使用参考电路图案和每一块芯片进行对比。对比后就开始晶圆切片(Slicing),将晶圆切割成 300 毫米/12 英寸块,每一块就是一个处理器的内核(Die)。测试过程中发现的有瑕疵的内核被抛弃,留下完好的准备进入下一步。
这样留下来的芯片,在经过封装,等级测试,正是在这一步,芯片才会被分类成例如 I5,I7 这些等级,再经过打包后,我们才能在各大品台上见到各种各样的芯片了~。
图片参考:
《英特尔CPU制造过程:一粒沙土到一颗CPU的全过程》
资料参考:
1.《芯片里面有几千万的晶体管是怎么实现的?》,知乎作者:呆涛
2.《芯片里面有几千万的晶体管是怎么实现的?》,知乎作者:老骥伏枥
本文转载自「硬蛋」
【SPY小组赛第六场:小米9 VS 联想Z5 Pro GT】
2019 SPY 机皇争霸赛小组赛第六场将在小米 9 和联想 Z5 Pro GT 之间展开。王自如评价小米联想真假首发骁龙 855:麻醉的只能是自己。他们在性能调校、相机和系统方面是否做到了最好?SPY 首场855 之争谁能取得胜利?
打开 ZEALER 小程序,观看本期视频
↓↓↓
*已购买用户可加 Q 群:631042704
(加群时需提供交易单号)
记得帮忙点个“在看”哟
1、头条易读遵循行业规范,任何转载的稿件都会明确标注作者和来源;
2、本文内容来自“Zealer订阅号”微信公众号,文章版权归Zealer订阅号公众号所有。