【行业】多台光刻机抵达！ 掀起国内半导体的制造浪潮

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【行业】多台光刻机抵达！ 掀起国内半导体的制造浪潮

来源:半导体设备工程师

日前，多台ASML光刻机运入国内晶圆厂，5月19日长江存储迎来了自己的首台光刻机，5月21日华力集成电路建设和营运的12英寸先进生产线建设项目（华虹六厂）实现首台工艺设备——光刻机搬入……

长江存储迎来首台光刻机

继中芯国际之后，日前长江存储也迎来了自己的首台光刻机，长江存储的首台光刻机同样来自ASML，为193nm浸润式光刻机，售价7200万美元，约人民币4.6亿元，用于14nm~20nm工艺。这也从侧面透露了长江存储3D NAND闪存芯片的工艺制程。

长江存储的官方消息，4月11日，长江存储首批400万美元的精密仪器开始进场安装，这标志着国家存储器基地从厂房建设阶段进入量产准备阶段，中国首批拥有完全自主知识产权的32层三维NAND闪存芯片将于年内量产。

5月19日，光刻机运抵武汉天河机场，设备相关的海关、商检及边防口岸的相关手续办理完成后，即可运至长江存储的工厂。这台光刻机售价高达7200万美元，后期陆续还会有多台运抵。

据悉，国家存储器基地于去年成功研发中国首颗32层三维NAND闪存芯片，这颗耗资10亿美元、由1000人团队历时2年自主研发的芯片，是我国在制造工艺上最接近国际高端水平的主流芯片。

华力将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线

5月21日上午，在上海浦东新区康桥工业园南区，由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目（华虹六厂）实现首台工艺设备——光刻机搬入，此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT 1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。

据了解，华力目前拥有中国大陆第一条全自动12英寸集成电路芯片制造生产线（华虹五厂），工艺技术覆盖55-40-28纳米各节点，月产能达3.5万片。而目前在建设的华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目，总投资387亿元人民币，预计将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线，工艺覆盖28-14纳米技术节点。

项目计划于2022年底建成达产，主要从事逻辑芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造，并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。

中芯国际EUV设备预计2019年交付

5月16日消息中芯国际（SMIC）同样从荷兰芯片设备制造商ASML订购了一套极紫外光刻（EUV）设备，这是目前最昂贵和最先进的芯片生产工具，价值1.2亿美元，这一设备预计将于2019年年初交付。

ASML所生产的光刻机是制造微机电、光电、二极管大规模集成电路的关键设备，是目前世界上精度最高，生产效率最高，应用最为广泛的高端光刻机型。

世界上很多著名芯片商如英特尔(Intel)，三星(Samsung)，海力士(Hynix)，台积电(TSMC)，中芯国际(SMIC)等，都已经开始试验使用这种EUV设备生产芯片，他能在更小芯片面积内布局数量更多的晶体管，让计算设备速度更快，估计今年年底可以生产出第一批成品。

ASML公司2017年到2018年第一季度全球销售地图

由财报数据可以看到，ASML公司2017年的主要销售客户依次为韩国，中国台湾，美国，中国大陆，EMEA几个地区，相比较2017年，2018年第一季度中大陆的采购量有所上升，超越美国和中国台湾，跃居第二，数额和EMEA持平，ASML第一大客户仍然是韩国。

选自ASML公司2017财年简报

选自ASML公司2018年Q1财务报表

中国加强自主晶圆制造

至此，中芯国际已经购入首台价值1.2亿美元的ASML EUV设备；长江存储的首台光刻机也已运抵武汉天河机场，华力集成电路建设和营运的12英寸先进生产线建设项目也实现了首台工艺设备——光刻机搬入，多台ASML 的设备运入中国大陆晶圆制造厂。

这将有助于推动中国自主研发半导体生产。对于年营业额达到90亿欧元的阿斯麦公司来说，来自中国的订单占的分量很小，但这显示了一个趋势，中国在芯片市场上也要扮演一个角色。

有传言称基于瓦森纳协议（Verdrag van Wassenaar），荷兰不能出售顶尖光刻机给中国。

对此ASML发言人早前表示，公司平等对待全球客户，包括中国客户，并且依据瓦圣纳协定，没有限制向中国客户销售EUV光刻机。

（来源：半导体设备工程师）

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